На виробничій лінії один лише слід води після процедури CMP може зруйнувати чіп, який вже пройшов процедуру полірування. Сушіння пластини після CMP є не просто корисною процедурою – це обов’язкова умова для отримання якісного продукту.
Якщо температура нагрівача буде нестабільною, це призведе до нерівномірності температури на поверхні пластини. Поверхневий натяг створює смуги на поверхні, а ці дефекти потрапляють у процес літографії. Наші нагрівачі для сушіння після CMP розроблені з урахуванням цих умов: відсутність утворення частинок, температурна однорідність приблизно ±0,1°C по всій площі пластини, а також можливість точного контролю параметрів сушіння.
Технічні характеристики мають значення лише тоді, коли вони відповідають реальним умовам, в яких знаходиться пластина. Нагрівач складається з елементів короткохвильового інфрачервоного випромінювання, розташованих у кварцовій конструкції – це забезпечує низьку теплову щільність та швидку реакцію нагрівача. Коли дверцята відкриваються та закриваються, температура швидко стабілізується.
Контроль здійснюється за допомогою замкнутого контуру, з використанням каліброваних датчиків. Це забезпечує точність контролю температури під час будь-яких процедур сушіння. У чистих приміщеннях класу 1–100 суворо дотримуються правил: відсутність випаровування клеїв, герметичні з’єднання, а також поверхня, яка не дозволяє утворюватися частинкам.
Переваги цього рішення очевидні: стабільне сушіння, що дозволяє зменшити кількість частинок та підвищити продуктивність виробництва. Використання енергії зменшується через низьку теплову щільність, а час роботи пристрою залишається високим. Наші дані показують, що пристрої можуть працювати 24/7 без жодних перерв.
Коли тепловий бюджет контролюється, можна досягти стабільних умов сушіння, а параметри фоторезисту залишаються в межах допусків. Встановлення пристрою є простим, але точне вирівнювання є обов’язковим. Нагрівач має знаходитися в одній площині з чептом та узгоджуватися з газовою завісою. Якщо це не буде дотримано, навіть ідеальний контроль температури не допоможе – проблеми все одно будуть на краях пластини.
Очікуйте короткий період налаштувань для визначення параметрів пристрою. Після цього необхідно дотримуватися тих самих правил, які ми завжди використовуємо: вимірювання, контроль, документування.