На поверхні плитки для літографії навіть зміна температури на 0,5°C достатня, щоб зіпсувати цілий завантажений набір платин. Фотополімер на цих плитках має дуже строгі термічні параметри, і якщо їх не дотримуватися, контроль товщини ліній стає неможливим. Ми створили пристрій для точного керування температурою, щоб зберегти ці параметри стабільними – з циклу в цикл, з процесу в процес.
Що є важливим у цьому процесі? Пристрій використовує короткохвильове інфрачервоне випромінювання з прямим нагріванням, тож термічна затримка залишається на низькому рівні. Рівномірність температури по всій плитці становить ±0,1°C, а повторюваність – ±0,05°C від одного процесу до іншого. Швидкість зміни температури контролюється на рівні 2°C/с, з перевищенням не більше 0,2°C, що дозволяє зберігати параметри процесу в межах приписаних значень. Сумісність із умовами чистої кімнати класу 1–100 забезпечується завдяки матеріалам з низьким рівнем виділення газів та конструкції, яка запобігає появі частинок, тож етап нагрівання не спричиняє дефектів. Пристрій працює 24/7, а дані про його термін служби показують, що він може працювати понад 5 000 годин зі стабільною потужністю та зі зміною інтенсивності менше ніж на 5%.
Реальність така: у процесі обробки фотополімеру температура безпосередньо впливає на критичні розміри та якість зчеплення. Коли параметри нагрівання контролюються, розміри залишаються в межах допусків, а профілі фотополімеру залишаються стабільними. Це означає менше необхідності переробки, стабільну продуктивність та планування, якому можна довіряти.
Швидке досягнення необхідної температури та точний контроль допомагають зменшити витрати енергії. Низький рівень частинок також допомагає підтримувати необхідний рівень чистоти в чистій кімнаті. У результаті отримується процес, який можна контролювати – стабільні розміри ліній, менше дефектів та можливість планування роботи.
Кілька практичних порад. Для правильної установки необхідний міцний термічний зв’язок та чистий контакт; якщо кріплення не підходять чи контакт поганий, рівномірність температури порушується. Пристрій підходить до стандартних интерфейсів, але все одно необхідно перевірити його сумісність з геометрією камери та рухом повітря.
Необхідно провести короткий тестовий процес, щоб визначити оптимальні параметри. Після цього пристрій буде забезпечувати необхідну точність, яку вимагає виробництво.