حرارت کو ضائع کرنا بند کریں: ویفرز کو گرم کرنے کا بہتر طریقہ
سلیکون ویفرز کو گرم کرنے میں جو مشکل ہے، وہ یہ ہے کہ اس کے لئے بہت زیادہ توانائی کی ضرورت ہوتی ہے، لیکن اس توانائی کا بیشتر حصہ وہاں نہیں پہنچتا جہاں اس کی ضرورت ہے۔
روایتی IR لیمپس حرارت کو ہر سمت میں فیل کرتے ہیں؛ یعنی یہ 360 ڈگری کے زاویے سے حرارت پیدا کرتے ہیں۔ نتیجے کے طور پر، پروسیس چیمبر کے اندر کا حصہ بھی گرم ہو جاتا ہے۔ یہ نہ صرف توانائی کا ضیاع ہے، بلکہ یہ آپ کے آلات کو ایک بڑے ریڈییٹر کی طرح بنا دیتا ہے۔ یہ قریب کام کرنے والے افراد کے لئے ایک سنگین خطرہ ہے۔
حل بہت آسان ہے: ہدفی IR لیمپس استعمال کریں۔
حرارت کو باہر نکلنے سے روکنے کے لئے، ہم خصوصی ریفلیکٹرز اور اندرونی کوٹنگ والے لیمپس استعمال کرتے ہیں۔ اسے ایسے سمجھیں کہ پائپ کے سرے پر نوزل لگا دیا گیا ہے؛ اس طرح انفراریڈ شعاعیں براہِ راست ویفر پر پڑتی ہیں، اور توانائی صرف مطلوبہ جگہ پر ہی پہنچتی ہے۔
ویکیوم چیمبر کی دیواریں اب حرارت کو جذب کرنے والے “سپنج” کا کام نہیں کرتیں۔ اس سے آپ کے کولنگ سسٹم کے لئے کام بہت آسان ہو جاتا ہے۔ جب دیواریں ٹھنڈی رہتی ہیں، تو آپ کو حرارتی توسیع کی وجہ سے مشکلات کا سامنا نہیں کرنا پڑتا۔ اس کے علاوہ، مرمت کے دوران آپ اپنے آلات کے بیرونی حصوں کو چھو سکتے ہیں، بغیر جلنے کے خطرے کے۔
اور سب سے بہتر بات یہ ہے کہ اس طریقے سے درجہ حرارت کا توازن بہتر ہو جاتا ہے؛ اب آپ کو ویفر کے کناروں پر درجہ حرارت کے فرق کا سامنا نہیں کرنا پڑتا، جہاں عموماً پتلی فلمیں غلط جگہ پر جم جاتی ہیں۔
لیکن احتیاط بھی ضروری ہے۔
یہ کوئی جادوئی حل نہیں ہے۔ چونکہ حرارت کو ایک جگہ مرکوز کیا جاتا ہے، اس لئے ویفر کی سطح پر حرارت کی کثافت بہت زیادہ ہو جاتی ہے۔ اگر PID کنٹرولر درست طریقے سے استعمال نہ کیا جائے، تو یہ گرم نقاط پیدا کر سکتا ہے، یا اس سے بھی بدتر صورت میں حرارتی صدمہ پہنچ سکتا ہے۔ اگر توانائی کو بہت تیزی سے بڑھایا جائے، تو ویفر ٹوٹ سکتا ہے۔
میرا مشورہ یہ ہے کہ پہلے چند ٹیسٹ رنز میں زیادہ وقت صرف کریں۔ اپنے فوکل پائنٹ کی جانچ کریں، تاکہ یقین ہو سکے کہ توانائی ویفر کے مرکز پر ہی پڑ رہی ہے، اور کناروں پر نہیں۔ جب یہ توازن درست ہو جائے، تو باقی سب کچھ خود ہی ٹھیک ہو جائے گا۔