
Ngăn chặn sự vỡ của ống thủy tinh: Giữ cho các wafer sạch sẽ khi bóng đèn hỏng
Hãy thừa nhận rằng, khi một bóng đèn hỏng trong quá trình sản xuất với công suất cao, đó thực sự là một cơn ác mộng. Việc thay thế bóng đèn không phải là điều đơn giản; nó gây ra rất nhiều rắc rối. Khi ống thủy tinh vỡ, các mảnh thủy tinh và chất hóa học sẽ rơi xuống các wafer, gây hư hại nghiêm trọng cho chúng. Sau đó, chúng ta phải dành hàng giờ để làm sạch buồng sản xuất, chỉ để có thể tiếp tục sản xuất. Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn tình trạng này.
Tại sao ống thủy tinh lại vỡ?
Thông thường, nguyên nhân là do tác động của nhiệt độ cao hoặc các điểm nóng xuất hiện trên bề mặt ống thủy tinh. Khi dòng điện lớn chạy qua lớp vỏ mỏng của ống thủy tinh, ngay cả sự thay đổi nhỏ trong cấu trúc sợi dây tóc cũng có thể gây ra sự gia tăng nhiệt độ đột ngột. Ống thủy tinh sẽ bị tổn thương, dẫn đến việc nó vỡ.
Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng ống thủy tinh tổng hợp có độ dày thành rất cao. Điều này giúp nhiệt được phân bố đều, tránh được tình trạng nhiệt độ tăng đột ngột. Nhờ đó, ống thủy tinh sẽ ít bị tổn thương hơn.
Thêm lớp bảo vệ
Chúng tôi quyết định không để bóng đèn tiếp xúc trực tiếp với môi trường bên ngoài nữa. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng các lớp bảo vệ bao quanh bóng đèn. Điều này giúp giữ cho các mảnh vụn không rơi xuống các wafer. Bạn chỉ cần thay thế bóng đèn và tiếp tục công việc mà không cần phải làm sạch toàn bộ hệ thống sản xuất.
Tìm sự cân bằng
Tất nhiên, luôn có những sự thỏa hiệp cần thực hiện. Mọi người đều muốn quá trình khởi động diễn ra nhanh chóng, nhưng việc tăng công suất quá mức sẽ gây ra áp lực lớn lên các bộ phận của hệ thống. Một mẹo nhỏ là hãy theo dõi các bộ điều khiển PID. Nếu chúng hoạt động quá mức, chúng sẽ gây ra áp lực lớn lên các bộ phận của hệ thống. Đừng quên kiểm soát dòng khí nữa. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt, các bộ phận kết nối sẽ nhanh chóng hỏng. Hãy đảm bảo dòng khí luôn lưu thông tốt, như vậy bóng đèn sẽ hoạt động lâu hơn.