Khi làm khô các wafer cảm biến MEMS sau quá trình vệ sinh hóa học, bạn cần nhiệt độ cao – và cần nó ngay lập tức. Nhưng vấn đề là việc sử dụng nhiệt...

Cách xử lý tình trạng bóng đèn hỏng trong quá trình sấy wafer Hãy thành thật mà nói: khi bóng đèn hồng ngoại bị hỏng trong nhà máy sản xuất chip bán...

Trong quy trình sản xuất, chỉ cần có một vết nước sau bước CMP thôi cũng đủ để làm hỏng chiếc wafer đã được mài nhẵn. Việc sấy khô wafer sau bước CMP...

Trên tầng lithography, chỉ cần lệch nướng mềm photoresist nửa độ cũng đủ để làm sai lệch kiểm soát kích thước quan trọng (CD). Wafers bị dồn ứ, tỷ lệ...