Hãy ngừng cố gắng chống lại độ ẩm trong quy trình rửa wafer đi. Thành thật mà nói, giai đoạn rửa chính là lúc việc kiểm soát nhiệt độ trở nên khó khăn nhất. Bạn muốn loại bỏ hơi ẩm nhanh chóng, nhưng lại không thể để xảy ra tình trạng nhiễm bẩn wafer. Đó là một sự cân bằng khó khăn, và kết quả thường là gây ra nhiều vấn đề.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại chống thấm nước. Những chiếc bóng đèn này không phải là những chiếc bóng đèn thông thường. Chúng được thiết kế riêng để hoạt động trong môi trường ẩm ướt, giúp chúng có thể chịu được tình trạng bị nước bắn vào và độ ẩm cao, mà không gây ra hiện tượng cháy nổ.
Thu thập dữ liệu chính xác
Nếu bạn muốn xây dựng một nhà máy sản xuất “smarter”, bạn không thể chỉ dựa vào những thiết bị điều nhiệt cũ kỹ. Những thiết bị này quá kém hiệu quả. Chúng tôi tạo ra các hệ thống hồng ngoại này để kết nối với hệ thống kỹ thuật số của bạn. Bằng cách điều chỉnh công suất và điện áp, bạn có thể biết được nhiệt độ di chuyển như thế nào trong quy trình rửa. Điều này giúp PLC nhận được dữ liệu tức thời. Bạn có thể biết chính xác nơi nào có nhiệt độ thấp, và từ đó điều chỉnh công suất để duy trì nhiệt độ ở mức mong muốn.
Thiết kế để chịu được môi trường ẩm ướt
Chúng ta đều biết rằng nước và điện áp cao là một sự kết hợp nguy hiểm. Để đảm bảo an toàn, chúng tôi niêm phong tất cả các đầu dây và điểm kết nối để ngăn nước xâm nhập. Chúng tôi cũng xử lý lớp vỏ bọc bằng thủy tinh sao cho chúng không bị bám bẩn do các chất khoáng trong nước rửa.
Và không có những bộ kết nối yếu ớt ở đây. Chúng tôi sử dụng các bộ kết nối bền chắc, không bị lung lay hay hỏng hóc khi tiếp xúc với hơi hóa chất suốt cả ngày.
Vấn đề: Nhiệt và việc làm mát
Vấn đề là: các bóng đèn hồng ngoại có mật độ cao có thể truyền một lượng năng lượng lớn rất nhanh. Điều này rất tốt để làm khô, nhưng lại gây áp lực lớn lên hệ thống làm mát của thiết bị. Nếu bạn đặt các bóng đèn quá gần nhau chỉ để tiết kiệm diện tích, thì các bộ phận điều khiển sẽ bị quá tải. Bạn cần đảm bảo rằng các quạt thông gió và bộ tản nhiệt đủ mạnh để đối phó với lượng nhiệt sinh ra.
Nếu bạn kết nối chúng vào hệ thống PID, mọi thứ sẽ hoạt động trơn tru hơn. Thời gian xử lý sẽ giảm, lượng chất thải sẽ ít hơn, và toàn bộ quy trình sẽ diễn ra suôn sẻ hơn.