Hồng ngoại so với đối lưu trong việc sấy wafer
Trên sàn chế tạo, một micron nước còn sót lại có thể làm giảm năng suất. Lò đối lưu không thể đáp ứng được ngân sách nhiệt và kỷ luật hạt mà các nút...
Máy sấy wafer bằng đèn hồng ngoại
Wafer vừa ra khỏi bước rửa cuối cùng, đồng hồ bắt đầu chạy. Để wafer nằm quá lâu hoặc tạo ra hồ sơ nhiệt không đồng đều trong quá trình sấy, thì dư...