Đèn nung chất cảm quang dùng để đảm bảo tính đồng nhất

Trong quá trình xử lý, hình dạng lớp phim quang học được xác định ngay trong lần nung đầu tiên. Sự thay đổi nhiệt độ 5°C giữa các vùng trên wafer sẽ...