半导体洁净室推车式加热器

如何让洁净室保持清洁：关于石英加热器的真相 在半导体洁净室里，根本不存在“一点点灰尘”这种概念。如果加热器释放出哪怕一微米的杂质，那么晶圆就报废了。就是这么简单。 正因为如此，我们才不会使用普通的玻璃或廉价的石英材料来制造加热器。因为这些材料无法承受高温带来的压力，它们会老化、开裂，进而影响产品的...