激光晶圆切割支撑加热器

在晶圆厂车间，激光切割的关键在于热管理。如果控制不当，微裂纹会扩展，切缝锥度会变大，切割后的缺陷会导致通过光刻和刻蚀工艺的晶圆报废。解决方案不是临时措施，而是在切割步骤中就在关键位置配备专用支撑加热器。 核心技术细节 该装置基于近红外（NIR）短波辐射发射器和石英增强热堆设计，确保晶圆温度均匀度达...