در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۱ درجه سانتیگراد میتواند باعث تغییر عرض خطوط روی ویفر شود؛ همچنین، وجود ذرات ناخواسته میتواند منجر به از بین رفتن بخش زیادی از محصول شود. به همین دلیل، ماژول گرمایش مادون قرمز با ساختار منطقهای طراحی شده است تا رفتار حرارتی در محدوده مورد نظر باقی بماند.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ فرستندههای مادون قرمز کوتاهاموج در مناطق کنترلشده به صورت جداگانه قرار گرفتهاند؛ بنابراین میتوان دما را طوری تنظیم کرد که متناسب با الگوی ویفر باشد. در سراسر سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰٫۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. فرآیند پخت فوتورزیست نیز قابل تکرار میشود؛ همچنین، از دست رفتن ابعاد کلیدی ناشی از تغییرات حرارتی کاهش مییابد. این ماژول سازگار با محیطهای تمیز از کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، طوری طراحی شده که میزان ذرات ناخواسته صفر باقی بماند. قابلیت اطمینان این ماژول از طریق اندازهگیریها مشخص میشود؛ عملکرد آن ۲۴/۷ بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای است؛ همچنین، طول عمر فرستندهها نیز زیر نظر گرفته میشود تا زمان تعمیرات قابل پیشبینی باشد.
چرا این روش در جاهایی که اهمیت دارد، مؤثر است؟ ابتدا فوتورزیست روی ویفر اعمال میشود، سپس آن را میپزیم. اگر فرآیند پخت ناهموار باشد، منجر به ایجاد ناهمواریهایی در لبههای ویفر و کاهش چسبندگی فوتورزیست میشود؛ همچنین، منجر به اختلالاتی در فرآیند حکاکی میشود. با استفاده از کنترل منطقهای، میتوان انرژی لبهها را متناسب با انرژی مرکز ویفر تنظیم کرد؛ در نتیجه، کنترل ابعاد کلیدی در سراسر ویفر بهتر میشود، تعداد محصولات نیازمند تعمیر کاهش مییابد و بازدهی محصولات پایدار میشود.
این ماژول همچنین با ارائه گرما تنها در جاهایی که نیاز به آن وجود دارد، باعث کاهش مصرف انرژی میشود؛ همچنین، به دلیل توانایی سریع بازیابی عملکرد خود بین دورههای مختلف، زمان انجام فرآیند کاهش مییابد، بدون اینکه کیفیت پخت کاهش یابد.
چه چیزهایی را باید از قبل بدانید؟ نصب این ماژول نیازمند تطبیق آن با مشخصات مکانیکی و الکتریکی سیستم میزبان است؛ از جمله نوع کانکتورها، مسیرهای تخلیه هوا و کل طراحی سیستم. لازم است یک مرحله راهاندازی انجام شود تا مناطق مختلف ماژول با الگوی ویفر و فرمولاسیون فوتورزیست مشخص شوند.
البته، این ماژول برای استفاده در محیطهای تمیز طراحی شده است؛ اما همچنان نیاز به تجهیزات مناسب برای محیطهای تمیز و برنامههای نگهداری منظم برای حفظ سطح پایین ذرات ناخواسته و عملکرد پایدار در طول زمان، وجود دارد.