במסגרת תהליך הליתוגרפיה, שינוי של 1 מעלה צלזיוס בטמפרטורה של הציליד יכול לגרום לשינוי ברוחב הקווים ברמה של ננומטרים; בנוסף, עלייה פתאומית ברמת החלקיקים יכולה לפגוע בכמות גדולה של מוצרים. לכן, פותח מודול חימום באינפרא-אדום שמאפשר שליטה בטמפרטורה בתוך הטווח האופטימלי.
מה חשוב מבחינה טכנית? גופי הפליטה בגלי אינפרא-אדום נמצאים באזורים שניתן לשלוט בהם באופן נפרד, כך שניתן לשלוט בטמפרטורה בהתאם למבנה הציליד. בכל שטח הציליד, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1 מעלות צלזיוס. תהליך החימום של הפוטורזיסט הופך לחזרתי – ניתן לשלוט בטמפרטורה בצורה מדויקת, וכך נמנעת אובדן ברזולוציה עקב שינויי טמפרטורה. החומרים שמרכיבים את המודול מתאימים לשימוש בחדרים נקיים מסוג 1–100, והמודול מיועד לשמירה על רמת חלקיקים נמוכה. האמינות של המודול נמדדת, אך אינה מובטחת – המודול יכול לפעול 24/7 ללא הפסקות, וחיי השירות שלו נמדדים כדי שניתן יהיה לחזות את הביצועים שלו.
למה זה עובד במקומות החשובים? ראשית, מורחים את הפוטורזיסט על הציליד, ואחר כך מחממים אותו. אם החימום אינו אחיד, עלולים להיווצר בעיות כמו חוסר אחידות בהדבקה של החומר, וכן בעיות בתהליך החריטה. עם שליטה באזורים שונים, ניתן לשלוט בטמפרטורה בצורה מדויקת, וכך להשיג שליטה אחידה ברזולוציה של הציליד. כתוצאה מכך, יש פחות צורך בעבודה חוזרת, והתפוקה יציבה.
המודול גם מפחית את בזבוז האנרגיה, כיוון שהוא מספק חום רק במקומות הנחוצים. בנוסף, הוא מתאושש במהירות בין סדרות הייצור השונות, כך שזמן העיבוד קצר יותר, מבלי לפגוע באיכות החימום.
מה צריך לדעת מראש? ההתקנה דורשת התאמה של המודול למאפיינים המכניים והחשמליים של המערכת – סוג החיבורים, מסלולי האוורור, וכו’. יש צורך בשלב של הגדרת האזורים השונים בהתאם לצרכים של הציליד ושל הפוטורזיסט.
המודול מתאים לשימוש בחדרים נקיים, אך עדיין נדרשים שירותים מתאימים לחדרים נקיים, וכן תוכנית תחזוקה קפדנית כדי לשמור על רמת חלקיקים נמוכה ועל ביצועים יציבים לאורך זמן.