もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。実際の問題は、熱源です。
一般的なIRランプは、汚染の原因となります。接着剤や金属製のエンドキャップのせいで、清潔な状態が求められる時に、微粒子やガスが発生してしまいます。そこで、私たちはより優れた方法を考案しました。それは、高純度の石英管と特殊なセラミック製のエンドキャップを使用することです。
なぜこれが重要か ほとんどの発光体は、フィラメントを固定するために金属を使用しています。しかし、温度を上下に変化させると、その金属が酸化したり剥がれ落ちたりします。ウェーハや光学部品を扱う際には、これは大きな問題です。
私たちは、金属の代わりに高品質なセラミックを使用しました。セラミックは空気と反応せず、ガスも発生しません。単純にその場所に留まって機能し、加熱領域を化学的に安定させることで、微細な汚染物質が製品の品質を損なうのを防ぎます。
技術的な詳細（簡単に説明） 外殻には融着石英を使用しています。これは高純度の石英で、大きな熱衝撃にも耐えられます。
しかし、本当のポイントは、セラミックキャップと石英の組み合わせです。両者の熱膨張率が同じでないと、最初の数回の温度上昇時にシールが壊れてしまいます。
また、高強度の短波長出力を実現するために、特別な設計が必要です。そうすれば、目標温度に到達するのが早くなり、基板が空気中の汚染物質に触れる時間が短縮されます。
注意点 これは魔法のような解決策ではありません。いくつかの妥協点があります。
第一に、セラミックキャップを使用すると、発光体の長さが金属製のものよりも少し長くなります。交換する前に、装置のサイズを確認しておく必要があります。そうしないと、収まらない可能性があります。
第二に、高純度の石英は硬いです。強度は高いですが、圧迫されると壊れてしまいます。取り付け時には、力加減に注意しましょう。
最後に、冷却システムもしっかりしている必要があります。熱密度が高いため、セラミックと石英が接する部分が過熱しないようにしなければなりません。