空気を加熱するのをやめよう：なぜアルミニウム製の反射板が重要なのか もし依然として熱い空気の循環に頼っているのであれば、実質的には対流に任せて待つしかありません。空気が温められ、その空気が最終的に部品に当たり、部品が温まるのです。半導体の加工においては、このような遅れは致命的です。時間が無駄になっ...

もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。実際の問題は、熱源です。 一般的なIRランプは、汚染の原因となります。接着剤や金属製のエンドキャップのせいで、清潔な状態が求められる時に、微粒子やガスが発生してしまいます。そこで、...

熱の無駄遣いをやめよう：ウェーハを効率的に加熱する方法 シリコンウェーハを加熱する際の問題点は、莫大なエネルギーが必要だということです。しかし、そのエネルギーのほとんどが、本来あるべき場所以外に散逸してしまいます。 一般的なIRランプは、あらゆる方向に熱を放ちます。つまり、360度全方位に熱が放出...

バックエンドでの問題として、アンダーフィルによる空隙やフィレットの問題は、単なる見た目上の問題ではありません。これらは、電気的な不具合や機械的な疲労、実使用時の故障など、製品の歩留まりを低下させる要因となります。もし、IRを利用したアンダーフィルの硬化処理が、すべての基板上やパッケージ内で一定の温...