半導体用ヒーターが爆発するのを防ぐ方法
半導体業界では、わずかな電気漏れだけで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。だからこそ、私たちは配線には絶対に手を加えません。
私たちが使用するのは、PTFE（テフロン）コーティングされたワイヤーです。なぜかというと、このワイヤーは高温に耐えられるからです。通常のPVCやシリコンでは、このような高圧には耐えられません。さらに、PTFEはクリーンルーム内にある腐食性の強い化学物質にも耐えられます。つまり、安定して機能し続けるのです。
なぜすべてのワイヤーを検査するのか
私たちは「バッチサンプリング」を行いません。それは単に「最善を願う」という意味に過ぎません。代わりに、すべてのワイヤーやヒーターアセンブリは、工場を出る前に必ずヒポット試験（耐圧試験）および絶縁抵抗試験を受けます。
ワイヤーがこの試験に合格したということは、その絶縁材が、通常の使用時にかかる電圧をはるかに超える電圧にも耐えられるということです。
これによって、テフロンに微細な穴があったり、圧着工具によって導体に微小な傷ができているなど、見えない欠陥を発見することができます。たとえごく小さな欠陥があっても、ヒポット試験によって回路が破壊されます。そういうものはすぐに廃棄されます。何の疑問もありません。
デメリットと注意点
PTFEは熱や化学物質に対しては優れていますが、硬すぎるという欠点があります。
取り付け時にワイヤーを急に曲げると、問題が生じます。導体にストレスがかかったり、将来故障の原因となる弱点ができたりします。データシートに記載されている最小曲げ半径に従ってください。そうすれば、将来の自分に感謝されるでしょう。
また、ジャケットの厚さも十分に設定しています。ヒーターが最高温度に達すると、絶縁抵抗が下がることが一般的です。ジャケットを厚くし、極端な電圧範囲で試験を行うことで、サイクルの途中で接地故障が起こらないようにしています。
心置きなく使用できる
100％検査済みのPTFEワイヤーを使用すれば、ハードウェアに関して心配する必要はありません。ヒーターと筐体の間で放電が起こる心配もありません。
そうすれば、機械は常に正常に動作し続けます。安全性は部品自体に組み込まれているので、安心して眠ることができます。