Как предотвратить повреждение вафер: как сохранить их чистоту при сбоях ламп
На производстве вафер взрыв лампы – это не просто техническая неполадка или временная остановка работы оборудования. Это настоящий кошмар.
Представьте себе, что кварцевая трубка ломается прямо во время работы оборудования на полной мощности. Тогда стеклянные осколки и галогенный газ попадают прямо на кремниевые пластины. В результате целые партии вафер становятся бракованными. Это дорогостоящая проблема, с которой никто не хочет иметь дело.
Поэтому мы разрабатываем инфракрасные лампы с учетом возможных ситуаций кризиса. Мы уделяем особое внимание материалам и конструкции лампы, чтобы избежать таких проблем.
Борьба с высокими температурами
Лампы высокой мощности работают в условиях резких перепадов температур. Чтобы предотвратить их разрушение под давлением, мы используем высококачественный сплавленный кварц. Он очень прочен и может выдерживать быстрые циклы нагрева и охлаждения без повреждений.
Но мы не останавливаемся на этом. Мы также усиливаем уплотнители на концах трубки. Если нить нагревателя сгорает, мы хотим, чтобы трубка сохраняла свою форму как можно дольше. Это предотвращает разрушение трубки и сохраняет стекло на месте.
Защита от посторонних веществ
Главная проблема заключается в месте соединения лампы с окружающей средой. Мы используем специальные покрытия и соединители, которые предотвращают выделение газов и попадание посторонних частиц в рабочую зону.
Еще один совет: если вы работаете с высокой нагрузкой, проверьте крепления лампы. Если они слишком сильно сжимают кварц, это может привести к его разрушению. Мы определяем точные параметры крепления, чтобы стекло могло расширяться при нагревании.
Компромиссы
Честно говоря, если вы увеличиваете мощность лампы для ускорения процесса отверждения, вы подвергаете кварц риску разрушения. Если лампа работает на пределе своих возможностей, система охлаждения должна работать безупречно. Иначе жар может повредить уплотнители и сократить срок службы лампы.
Мой совет: не ждите, пока лампа сломается. Установите строгий график замены ламп в зависимости от времени ее работы. Это гораздо дешевле, чем устранять последствия разрушения лампы.