Fabrika alanında, geride kalan tek bir mikron su verimi torpilleyebilir. Konveksiyonlu ocaklar, ileri düzey düğümlerin talep ettiği termal bütçeye ve parçacık disiplinine ayak uyduramaz. Burada hata payı kalmamıştır.
Kaputun altında gerçekten önemli olan
Kızılötesi kurutma, ısıyı doğrudan su filmine radyatif transfer yoluyla iletir ve tüm odanın havasını ısıtmaya çalışmaz. Bu, bir dakikadan kısa sürede hedef sıcaklığa ulaşmanızı sağlar ve wafer düzeyinde ±0.1°C içinde bir eşitlik sağlarsınız—fotoresistin yumuşak pişirme ve sert pişirme aşamalarında bütünlüğünü korumak için tam olarak ihtiyaç duyduğunuz şey.
Kuvartz kısa dalga yayıcılar hızlı, spektral olarak seçici enerji sağlar ve termal profil kapalı döngü kontrolü altında tekrarlanabilir kalır. Öte yandan, konveksiyon, termal gecikme, kayma ve havadaki parçacık salınımlarıyla birlikte gelen hacimsel hava akışına dayanır. Kızılötesi modüllerimiz, ısıtma noktasında sıfır parçacık üretimi ile sınıf 1–100 temiz odalar için tasarlanmıştır. Güvenilirlik, kontrol edilen lamba görev döngülerinden ve termal kütleyi disiplin altında tutmaktan gelir.
Bunun litografi ve ambalajlama üzerindeki etkisi
Hattın hızına ayak uyduran ve fotoresisti zorlamayan bir kurutma ihtiyacınız var. Kızılötesi, döngü süresini kısaltır, enerji çekimini azaltır ve geri sirküle edilen hava ile gelen çapraz kontaminasyon riskini ortadan kaldırır.
Wafer temizliği ve kurutmasından bahsederken, işlem penceresi hızla daralır. Sıcaklık hassasiyeti ve tekrarlanabilirlik doğrudan daha az hata, stabil CD kontrolü ve güvenilir hat verimlerine dönüşür. Kazanç, daha az hurda parti ve daha az planlanmamış duraklama süresidir.
Doğru yapmanız gerekenler
Kızılötesi, doğrudan görüş çizgisine ihtiyaç duyar ve sıcak noktaları önlemek için yayıcı ile altlık arasındaki mesafeyi ayarlamanız gerekir. Entegrasyon, emisyon katsayısını doğru bir şekilde ayarlamayı ve ısı yolunu bitişik aletlerden izole etmeyi içerir.
Konveksiyon, daha kalın yüklerde nazik ve eşit ısıtma gerektiği durumlar için yerini hala korur. Kurulumu fabrika yardımcı hizmetleri—güç, soğutma, egzoz—etrafında planlayın ve tarifi tam wafer yığını ve film yığınına göre ayarlayın.