Wafers için sıcaklık sensörü
Wafer temizleme araçlarının hasar görmesini önlemek
Dürüst olalım: IR ısıtma lambalarını kimyasal temizleme alanlarının içine koymak, adeta ateşle...
MEMS sensör yongası kurutma ısıtıcısı
Kimyasal temizleme işleminden sonra MEMS sensör yongalarını kuruturken ısıya ihtiyaç duyulur ve bu ısının hızlı bir şekilde sağlanması gerekiyor....
Enerji verimliliği yüksek wafer ısıtıcısı
Kırıkları durdurun: Lambalar arızalandığında waflarınızı temiz tutun
Dürüst olalım. Yüksek kapasiteli üretim süreçlerinde bir lamba arızalandığında...
Wafer kurutma lambası için reflektör
Neden Wafer’inizin Kurutulması İçin Daha İyi Bir Yansıtıcıya İhtiyaç Var?
Eğer hâlâ yarı iletkenlerin derinlemesine işlenmesi için sıcak hava...
Wafer için hassas IR sensörü
Isı kaybını durdurun: Waferlerinizi ısıtmak için daha iyi bir yol
Silikon waferlerini ısıtma konusundaki sorun şu: Büyük miktarda enerji gerekiyor,...
CMP sonrası yonga kurutma ısıtıcısı
Üretim alanında, CMP işleminden sonra meydana gelen bir su izi bile, parlatma işleminden geçmiş olan çiplerin bozulmasına neden olabilir. CMP sonrası...
Kızılötesi vs Konveksiyon ile Wafer Kurutma
Fabrika alanında, geride kalan tek bir mikron su verimi torpilleyebilir. Konveksiyonlu ocaklar, ileri düzey düğümlerin talep ettiği termal bütçeye ve...
Lazer wafer dilimleme destek ısıtıcısı
Fabrika katında, lazerle kesme tamamen termal disiplinle ilgilidir. Eğer bu yoksa, mikro çatlaklar oluşmaya başlar, kanal eğimi bozulur ve kesim...
Wafer kurutma kızılötesi ısıtıcı
Wafer, son durulama işleminden çıkar ve zaman işlemeye başlar. Çok uzun süre bekletirseniz ya da kurutma sırasında düzensiz bir termal profil...