Neden Wafer’inizin Kurutulması İçin Daha İyi Bir Yansıtıcıya İhtiyaç Var?
Eğer hâlâ yarı iletkenlerin derinlemesine işlenmesi için sıcak hava dolaşımına güveniyorsanız, muhtemelen iş akışınızda rahatsız edici gecikmeler yaşadığınızı hissetmişsinizdir. Burada bahsettiğim şey, fırının doğru sıcaklığa ulaşmasını beklerken geçen o boş zamanlardır. Bu durum zaman israfıdır. Ve bu sektörde zaman her şey demektir.
Kızılötesi ısıtma yöntemiyle bu durum tamamen değişir. Büyük bir hava tankını ısıtarak havanın wafer’i ısıtmasını beklemek yerine, kızılötesi ışınlar doğrudan wafer’in yüzeyine ulaşır. Aracı yoktur; rüzgarın estiğini beklemeye gerek yoktur.
Ancak burada bir sorun var: Kızılötesi ışınlar ancak kaliteli bir yansıtıcıyla etkili olabilir. Kalitesiz altın veya alüminyum kaplamalar olmadan, harcadığınız enerjinin yarısı tekrar makinenin gövdesine geri saçılır. Bu hem verimsizdir, hem de para israfıdır. Hassas şekilde tasarlanmış bir yansıtıcı ise bu enerjiyi tam olarak wafer’in bulunduğu yere yönlendirir.
Hız açısından fark inanılmazdır. Saniyelerle dakikalar arasındaki farktan bahsediyoruz. Kızılötesi ısıtma kullanıldığında, kurutma süresi genellikle %40 ila %70 oranında azalır. Ayrıca, alan daha verimli kullanılabilir; devasa vantilatörler ve gereksiz ısı yalıtım sistemleri ortadan kalkar.
Elbette bu iş, sadece bir fanın yerine lamba takmak kadar basit değildir. Kızılötesi ışınlar belirli bir yönde hareket eder. Eğer yansıtıcı birkaç derece bile yanlış yerdeyse, aşırı ısınma sorunları ortaya çıkar. Bu da wafer’in düzgün şekilde kurutulamamasına yol açar ve bu da kalite kontrolü açısından büyük bir sorundur.
Ayrıca ısı yüküne de dikkat etmek gerekir. Yüksek güçlü kızılötesi cihazlar çok hızlı ısınır. Eğer soğutma sistemi bu ısıyı elektronik parçalardan uzaklaştırmak için yeterince etkili değilse, kontrol cihazları zarar görebilir.
İşte bu yüzden yansıtıcının yüzey geometrisi üzerinde o kadar çok zaman harcıyoruz. Burada amaç, yüksek enerjiyi kullanırken aynı zamanda ısının wafer’in üzerine eşit şekilde dağılmasını sağlamaktır. Amacımız işi hızlıca yapmak, ancak doğru şekilde yapmaktır.