如何在加热过程中保持晶圆洁净无瑕？
如果你在100级洁净室中工作，那么你一定知道：哪怕有一点点灰尘或气体泄漏，整个批次的产品都会报废。
问题在于，普通的红外灯通常由某种粘合剂或涂层固定在一起，而这些材料在受热后会脱落。这样一来，灯就会释放出微粒，从而污染晶圆。因此，我们选择使用高纯度的合成石英来制作灯具——因为这种材质不会脱落任何颗粒。
秘诀就在于石英本身
我们使用的都是几乎不含杂质的熔融石英。为什么呢？因为低纯度的石英在受热后会变得不透明。通过去除其中的金属杂质，我们可以确保灯在加热过程中不会向晶圆上释放微粒。这样，你既能获得所需的加热效果，又能保持晶圆的清洁。很简单吧？
找到合适的距离
调整灯与晶圆之间的距离其实需要一些技巧。如果距离太近，就会产生热点，导致薄晶圆变形；如果距离太远，则加热时间会变长，生产效率也会下降。为了解决这个问题，我们的灯具被设计成能够发出精确的短波辐射。这样，即使将灯置于较远的距离，仍能保持较高的能量密度。
需要注意的事项
高纯度石英虽然化学性质稳定，但却很易碎。请务必不要用裸手触碰这些灯管。皮肤上的油脂会导致应力点出现，一旦灯进入快速加热状态，这些应力点就会变成裂缝，从而使灯提前损坏。同样，安装支架也必须不能施加过大的压力。如果用刚性夹具固定石英，那么一旦石英试图膨胀，它就会破裂。所以，要给石英一些空间让它自由膨胀。
这些灯具设计为可以轻松替换现有的加热装置。只需确保电源的输出功率与灯具的要求相匹配，就能避免过度加热的问题。