Proč používáme infračervené lampy s pozlacenými trubicemi k sušení polovodičů
Svět polovodičů usiluje o sušení bez olova a bez emisí. Je to náročný cíl, ale našli jsme způsob, jak ho dosáhnout pomocí infračervených lamp s pozlacenými trubicemi.
Vzpomeňte si na běžnou konvekční troubu – ta zahřívá vzduch, který potom zahřívá součástku. Je to pomalé a často je potřeba chemické rozpouštědla nebo silné ventilátory na pohyb vzduchu. Tyto infracervené lampy jsou jiné – posílají energii přímo na povrch součástky. Žádný prostředník, žádné další chemikálie, jen přímé zahřívání.
Tajemství spočívá v zlatě.
Pokud použijete obyčejnou křemennou trubici, velká část této cenné energie prostě unikne ven. Je to plýtvání. Proto na zadní stranu trubice nanášíme tenkou vrstvu zlata. Ta funguje jako tepelné zrcadlo – odráží infračervené vlny zpět ke vaší součástce.
Dostanete tak dvojnásobnou hustotu tepla, aniž byste museli přidat více energie. Když lidé mluví o „úspoře energie“, nemyslí tím, že lampa spotřebovává méně elektřiny – myslí tím, že vaše součástka skutečně pohlcuje teplo, místo aby se rozptýlilo po místnosti.
Proč tvar „dvojité trubice“?
Jde o pokrytí celé plochy. Tento design nám umožňuje mít větší povrchovou plochu v opravdu malém prostoru. To znamená, že se nemusíte obávat „chladných míst“ na vaší desce nebo waferu. Díky rozdělení tepla mezi dvě vlákna je tepelné zatížení rovnoměrné. To zabrání tomu, abyste náhodou spálili povrch součástky.
Kompromisy (protože nic není dokonalé)
Máte menší rozměry zařízení a mnohem rychlejší dobu nastartování. Ale je tu jeden problém: pozlacené vrstvy jsou citlivé. Pokud se během instalace na tuto vrstvu dostane otisk prstu, kapka oleje nebo prach, budete mít problémy. Objeví se „horká místa“ a trubice pravděpodobně přestane fungovat příliš brzy. Proto dbáme na to, abychom nosili rukavice a udržovali reflexory čisté. Je to citlivá rovnováha.
Práce bez olova
Lepidla bez olova představují problém – vyžadují vyšší teploty a přesnější kontrolu teploty. Nemůžete prostě „odhadovat“ teplotu. Krátkovlnné infračervené světlo nám umožňuje dosáhnout těch vysokých teplot rychle. Navíc, jelikož nespalujeme plyn v obrovské troubě, emise uhlíku zmizí. Je to čistší způsob provozu továrny – a prostě to odpovídá směru, kterým se průmysl ubírá.