در کارخانههای تولید، حتی تغییر دمای ۰.۲ درجه سانتیگراد نیز میتواند باعث اختلال در کنترل پروفایل فوتورزیست شود؛ همچنین میتواند باعث اختلال در فرآیندهای حکاکی روی ویفرها شود. ویفرها نسبت به عدم پایداری دمایی بسیار حساس هستند. بنابراین، ما گرمکنهای مبتنی بر امواج مادون قرمز را طراحی کردیم تا با شرایط واقعی سازگار باشند؛ یعنی بدون هیچ تغییر دمایی، با قابلیت تکرارپذیری بالا، و در شرایط مناسب برای استفاده در اتاقهای پاک.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از عناصر مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکنیم؛ این عناصر گرما را به سرعت به درون صفحه منتقل میکنند. در ناحیه فعال، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است. در هر چرخه، تکرارپذیری دما در حد ±۰.۵ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین پروفایلهای حرارتی مربوط به فرآیندهای حکاکی نیز در محدوده مشخصی باقی میمانند.
بدنه گرمکن از کوارتز و سرامیک با کیفیت بالا ساخته شده است؛ هیچ ماده آلی در آن وجود ندارد. طراحی این گرمکن باعث میشود تا تولید ذرات در حداقل میزان باقی بماند؛ بنابراین این گرمکن برای استفاده در اتاقهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است. رفتار کنترلی این گرمکن منظم و پایدار است؛ همچنین جرم حرارتی آن کم است. این ویژگیها باعث میشود که گرمکن پس از بارگذاری ویفرها، به سرعت به دمای مورد نظر برسد؛ در نتیجه زمان توقف گرمکن کاهش مییابد، بدون اینکه دقت کنترل کاهش یابد.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟ در فرآیند لیتوگرافی، حساسیت فوتورزیست به دما، باعث میشود که دما به عنوان ابزاری برای کنترل کیفیت ورودیها استفاده شود. صفحه حرارتی پایدار، منجر به کاهش تعداد بارهای بازسازی، توزیع یکنواختتر، و تغییرات قابل پیشبینی در دما میشود.
پاسخ سریع گرمکن، زمان انتقال حرارت را کاهش میدهد؛ همچنین ساختار سبک گرمکن، مصرف انرژی در حالت آمادهباش را کاهش میدهد. شما میتوانید از همان اتصالات قبلی استفاده کنید، اما میتوانید تغییرات ناشی از عدم یکنواختی دما را کنترل کنید؛ در نتیجه کیفیت محصولات بهبود مییابد.
چه چیزهایی باید بدانید؟ نصب این گرمکن روی پلتفرمهای استاندارد بسیار آسان است؛ اما باید موقعیت دقیق گرمکن و سنسورها را بررسی کنید. حتی تغییر جزئی در موقعیت گرمکن، میتواند باعث اختلال در یکنواختی دما شود.
قبل از سفارش، ولتاژ، جریان و نوع اتصالات را بررسی کنید. پس از نصب، یک آزمایش کوتاه انجام دهید تا اختلافات دمایی بین صفحه و ویفر را مشخص کنید و مقدار دمای مورد نظر را تنظیم کنید.