בחדר הייצור, שינוי קטן בטמפרטורה של 0.2°C יכול לפגוע בשליטה באיכות הפוטורזיסט, ולגרום לבעיות בתהליך החריטה. הוופרים אינם סובלים שינויים תרמיים. לכן יצרנו גופי חימום באינפרא-אדום שמתאימים לתנאים האמיתיים: אין שינויים בטמפרטורה, תהליכי חימום חוזרים ואמינים, והמכשיר מתאים לשימוש בחדרים נקיים.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים ברכיבי אינפרא-אדום בעלי גלים קצרים, שמעבירים חום ישירות לפלטה, במהירות. באזור הפעיל, האחידות של הטמפרטורה היא ±0.1°C. בין סיבובים שונים, האחידות של הטמפרטורה נשארת בטווח של ±0.5°C, כך שהתהליכים של חימום נשארים קבועים לפי ההוראות.
גוף החימום עשוי מקוורץ וקרמיקה איכותית – אין בו חומרים אורגניים. העיצוב של המכשיר מונע ייצור של חלקיקים, כך שהמכשיר מתאים לשימוש בחדרים מסוג Class 1–100. השליטה בטמפרטורה יציבה ואמינה, עם אינרציה תרמית נמוכה. זה אומר שהטמפרטורה מתאזנת במהירות לאחר הטעינה של הוופרים, מה שמקצר את זמן ההמתנה, מבלי לפגוע בדיוק.
למה זה עובד בליתוגרפיה? בחדר הליתוגרפיה, רגישות הפוטורזיסט לטמפרטורה הופכת אותה לגורם חשוב בשליטה באיכות המוצר. פלטה יציבה מבטיחה פחות עבודות תיקון, חלוקה אחידה של החומר, ושליטה טובה יותר בטמפרטורה.
התגובה המהירה של המכשיר מקצרת את זמן החימום, והמבנה הקל שלו מפחית את צריכת האנרגיה. ניתן לשמור על אותו גודל ואותם חיבורים, אך ניתן להחליף את חוסר היציבות בשליטה – דבר שמבטיח איכות טובה יותר ופחות פסולת.
מה צריך לדעת? ניתן להתקין את המכשיר על פלטות סטנדרטיות, אך יש לוודא את ההתאמה בין החיבורים לבין מיקום החיישנים. אפילו שינוי קטן במיקום של מילימטרים יכול לפגוע באחידות של הטמפרטורה.
יש לוודא את המתח, הזרם וסוג החיבורים לפני הרכישה. לאחר ההתקנה, יש לבצע בדיקות כדי לוודא שהטמפרטורה נשארת קבועה לפי ההוראות.