חילוף לוח החימום – מחמם אינפראאדום

בחדר הייצור, שינוי קטן בטמפרטורה של 0.2°C יכול לפגוע בשליטה באיכות הפוטורזיסט, ולגרום לבעיות בתהליך החריטה. הוופרים אינם סובלים שינויים תרמיים. לכן...