בחדר הייצור, סימן מים אחד לאחר תהליך CMP יכול להרוס כרטיס שעבר את תהליך הניקוי. ייבוש הוופר לאחר CMP אינו דבר שניתן להמתין עם ביצועו – זו חובה. אם החימום אינו אחיד, המתח הפנימי של השטח גורם להיווצרות כתמים על השטח, וחסרונות אלו עלולים להשפיע על תהליך הליתוגרפיה. עיצבנו את מערכות החימום לאחר CMP כך שימנעו ייצור של חלקיקים, יבטיחו אחידות תרמית של ±0.1°C בכל שטח הוופר, ויאפשרו עקביות בין סדרות הייצור השונות. המפרטים הטכניים יהיו שימושיים רק אם הם תואמים למציאות שבה נמצא הוופר. מערכות החימום משתמשות ברכיבי אינפרא-אדום בעלי גל ארוך, מה שמאפשר תגובה מהירה ואחידות תרמית. כאשר הדלת נפתחת ונסגרת, הטמפרטורה יורדת במהירות. השליטה בטמפרטורה היא אוטומטית, עם חיישנים מדויקים שמאפשרים שמירה על רמת טמפרטורה קבועה במהלך כל תהליך הייצור. בחדרי הייצור מסוג 1–100 יש שליטה הדוקה על התנאים – אין פליטת גזים מהחומרים השונים, החיבורים סגורים, והשטח מושלם כך שלא ייווצרו חלקיקים. התוצאה היא ייבוש אחיד שמונע ייצור של חלקיקים ומשפר את רמת הייצור. היתרון הוא שהמערכת מונעת את השונויות שאיננו יכולים להרשות לעצמנו. כך מתקבל ייבוש אחיד, ופחות צורך בתיקונים. צריכת האנרגיה יורדת בגלל המסה התרמית הנמוכה, וזמן העבודה עולה. נתוני השטח שלנו מראים שהמערכות יכולות לעבוד 24/7 ללא עצירות לא מתוכננות. כאשר הטמפרטורה נשלטת, ניתן לייצר תוצאות איכותיות. ההתקנה פשוטה, אך ההתאמה בין החימום לבין הוופר היא הכרחית. החימום חייב להיות באותו מישור כמו הוופר, כדי שהטמפרטורה תהיה אחידה. אחרת, גם שליטה מושלמת בטמפרטורה לא תעזור. יש צורך בבדיקות קצרות כדי לוודא שהחימום עובד כראוי. לאחר מכן, יש להמשיך לשמור על הסטנדרטים שאנו עוקבים אחריהם: מדידה, שליטה, תיעוד.