Sensor suhu untuk alat pengolahan wafer
Mencegah Alat Pembersih Wafer dari Kegagalan
Sejujurnya, meletakkan lampu pemanas IR di zona pembersihan kimia sama saja dengan bermain dengan api....
Pabrik pita termal berkekuatan tinggi
Di fasilitas litografi, proses pemanasan fotoresisten bukanlah sekadar “pencairan bahan”. Sebenarnya, itu merupakan langkah termal yang digunakan...
Pemanas fotoresist dengan presisi suhu yang tinggi
Di fasilitas litografi, perubahan suhu sebesar 0,5°C saja sudah cukup untuk membuat seluruh produk yang dihasilkan menjadi tidak layak digunakan....