리소그래피 라인에서 열오차는 여유 공간을 거의 허용하지 않는다. FOUP가 한쪽 코너에서 습기를 머금거나 과열되고 다른 쪽은 냉각되면, 포토레지스트는 허용된 열 예산을 초과한다. 코터 단계에서는 이를 확인할 수 없으며, 이후 라인 폭 편차와 스커밍으로 나타난다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해 FOUP 드라이어를 개발했으며, 공정 윈도우가 웨이퍼 위에서 안정적으로 유지되도록 설계되었다.
핵심 사항
이 장치는 FOUP 전반에 걸쳐 웨이퍼 수준의 열 균일도를 ±0.1°C 이내로 유지하며, 용매를 레지스트 내로 밀어넣거나 오염물질이 배출되지 않도록 클린룸 호환 열 프로파일을 사용한다. 입자 발생은 사실상 0에 가깝고, 재료와 공기 흐름은 Class 1~100 클린룸 기준에 맞게 설계되어 있다. 반복성은 제어 루프 및 기계적 인터페이스에 내재되어 있어, 배치별로 동일한 베이크 사이클 결과를 보장한다. 신뢰성은 공정 균형을 깨뜨리는 예기치 않은 다운타임 없이 안정적으로 운영되는 데 달려 있다.
24시간 7일 가동 팹에서의 역할
FOUP 드라이어의 성능은 사이클 타임, 스크랩, 에너지 소비에 직접적인 영향을 미친다. 엄격한 온도 균일성은 소프트 베이크 및 하드 베이크 공정을 안정적으로 유지하여 재작업 감소와 치수 제어 강화로 이어진다. 클린룸 호환 구조는 입자 수를 최소화하여 첨단 노드 요구사항을 충족한다. 결과적으로 편차 감소, 공정 안정성 확보, 웨이퍼당 비용 절감 효과가 있으며, 열 여유를 좇느라 처리량 저하가 발생하지 않는다.
실제 적용 세부 사항
설치는 트랙 및 FOUP 캐리어 풋프린트에 맞춰 도킹 인터페이스와 배기 경로를 조정하는 것이 중요하므로, 도구 통합 팀과 조기에 협의해야 한다. 드라이어는 열 균일도 사양을 유지하기 위해 안정적인 유틸리티, 즉 청정 건조 공기와 안정적인 전원 공급이 필요하다. 레지스트 스택에 맞는 베이크 프로파일을 확정하기 위해 짧은 커미셔닝 런을 계획해야 한다.