레이저 웨이퍼 다이싱 지원 히터

공정 및 기술적 내용 파브 플로어에서 레이저 다이싱은 열 관리에 관한 모든 것입니다. 열 관리가 제대로 이루어지지 않으면 미세 균열이 발생하고, 커프 테이퍼가 불량해지며, 다이싱 후 결함이 리소그래피와 에칭을 통과한 웨이퍼를 손상시킵니다. 해결책은 임시방편이 아니라,...