FOUP(프론트 오프닝 유니파이드 포드) 드라이어

리소그래피 라인에서 열오차는 여유 공간을 거의 허용하지 않는다. FOUP가 한쪽 코너에서 습기를 머금거나 과열되고 다른 쪽은 냉각되면, 포토레지스트는 허용된 열 예산을 초과한다. 코터 단계에서는 이를 확인할 수 없으며, 이후 라인 폭 편차와 스커밍으로 나타난다. 우리...