웨이퍼 공정용 온도 센서
웨이퍼 세척 도구가 고장 나는 것을 막는 방법
솔직히 말해서, IR 가열 램프를 화학 세척 구역에 넣는 것은 마치 불장난과 같습니다. 가연성 용매들이 주변에 있을 때, 작은 스파크나 누수만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다.
우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 특별...
고온용 열접착 테이프 제조 공장
팹에서의 포토레지스트 건조 과정은 단순한 “온도 상승 과정”이 아닙니다. 이는 선폭 제어를 위한 중요한 열처리 과정입니다. 0.5°C의 온도 변동만으로도 처리 조건이 달라지며, 균일하지 않은 열분포로 인해 웨이퍼의 측면이 기울어질 수 있습니다. 이러한 문제는 포토레지...
정밀 온도 제어형 포토레지스트 가열기
리소그래피 공정에서는, 베이킹 온도가 0.5°C만 변동해도 전체 생산 물량이 폐기될 수 있습니다. 웨이퍼 위의 포토레지스트는 매우 민감한 온도 조건을 요구하기 때문에, 이 조건을 준수하지 못하면 선의 굵기를 제어할 수 없게 됩니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해...