웨이퍼 세척 도구가 고장 나는 것을 막는 방법
솔직히 말해서, IR 가열 램프를 화학 세척 구역에 넣는 것은 마치 불장난과 같습니다. 가연성 용매들이 주변에 있을 때, 작은 스파크나 누수만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다.
우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 특별한 설계를 적용하여, 고객들이 밤새 걱정할 필요가 없도록 했습니다.
누수를 막는 방법
가장 큰 위험은 화학물질의 증기가 전기 단자로 들어가는 것입니다. 이를 막기 위해 우리는 램프를 단순히 밀봉하는 것이 아니라, 여러 층으로된 보호층으로 감싸줍니다. 또한, 가연성 가스가 들어올 수 없도록 내화성이 뛰어난 접착제를 사용합니다.
그리고 쿼츠 유리에 특수 코팅을 하여, 외부 보호층이 있음에도 불구하고 필요한 열을 공급할 수 있습니다.
열 관리
일관성이 중요합니다. 웨이퍼에 과열된 부분이 생기면 문제가 생깁니다. 우리는 정밀하게 제작된 필라멘트를 사용하여 온도를 균일하게 유지합니다.
하지만 문제는, 재료들이 가열될 때 팽창하거나 수축한다는 것입니다. 만약 밀봉부와 쿼츠 튜브의 팽창 속도가 다르면, 밀봉부가 깨집니다. 그러면 램프가 작동하지 않습니다. 우리는 이러한 팽창 속도를 정확하게 맞춤으로써, 급격한 열 변화에도 램프가 손상되지 않도록 했습니다.
단점
물론, 이러한 보호 조치로 인해 램프의 크기가 약간 커집니다. 따라서 열원이 웨이퍼에서 약간 멀어지게 됩니다. 이는 작은 차이일 수 있지만, 중요합니다.
이러한 문제를 해결하기 위해서는 PID 설정과 전력 설정을 조정해야 합니다.
결국, 우리는 부식성 가스로부터 램프를 보호하면서도, 전기가 정확한 위치에 전달되도록 설계했습니다. 이렇게 해서 안전 기준을 충족하면서도, 공정에 필요한 충분한 열을 공급할 수 있는 램프가 만들어집니다.