고온용 열접착 테이프 제조 공장

팹에서의 포토레지스트 건조 과정은 단순한 “온도 상승 과정”이 아닙니다. 이는 선폭 제어를 위한 중요한 열처리 과정입니다. 0.5°C의 온도 변동만으로도 처리 조건이 달라지며, 균일하지 않은 열분포로 인해 웨이퍼의 측면이 기울어질 수 있습니다. 이러한 문제는 포토레지...