웨이퍼 공정용 온도 센서

웨이퍼 세척 도구가 고장 나는 것을 막는 방법 솔직히 말해서, IR 가열 램프를 화학 세척 구역에 넣는 것은 마치 불장난과 같습니다. 가연성 용매들이 주변에 있을 때, 작은 스파크나 누수만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 특별...