왜 반도체 건조에 금 코팅된 트윈 튜브형 적외선 램프를 사용하는가?
반도체 산업은 납이 없고 오염물질이 전혀 발생하지 않는 건조 방식을 강력하게 추구하고 있습니다. 이는 매우 어려운 목표이지만, 우리는 금 코팅된 트윈 튜브형 적외선 램프를 사용함으로써 이를 실현할 수 있었습니다.
일반적인 대류식 오븐을 생각해보세요. 오븐은 공기를 가열한 다음 그 공기로 부품을 가열합니다. 하지만 이 방식은 속도가 느리며, 공기를 움직이기 위해 화학용제나 강력한 팬이 필요합니다. 반면, 이 적외선 램프는 에너지를 직접 기판에 전달합니다. 중간 단계나 추가적인 화학물질이 필요 없으며, 순수한 열만이 전달됩니다.
비결은 바로 금에 있습니다.
만약 일반적인 석영 튜브를 사용한다면, 그 귀중한 에너지의 상당 부분이 뒤쪽으로 새어 나가 버립니다. 그러나 트윈 튜브의 뒷면에 얇은 금층을 코팅하면, 그 열이 다시 기판 쪽으로 반사됩니다. 이렇게 해서 더 많은 열을 얻을 수 있습니다. 사람들이 이를 ‘에너지 절약’이라고 하는 것은, 램프가 전기를 덜 소비한다는 의미가 아니라, 기판이 그 열을 흡수하여 방 안으로 낭비되는 것을 막는다는 의미입니다.
왜 ‘트윈 튜브’ 형태인가?
그것은 바로 커버리지 때문입니다. 트윈 튜브 구조 덕분에 작은 공간 안에서도 더 큰 표면적을 확보할 수 있습니다. 그래서 PCB나 웨이퍼에 ‘차가운 부분’이 생길 걱정이 없습니다. 두 개의 튜브를 통해 열이 분산되므로, 기판이 과열되는 것을 막을 수 있습니다.
단점도 있습니다.
기계의 크기는 작아지고 가동 속도는 빨라지지만, 금 코팅은 매우 까다롭습니다. 설치 시 지문이나 기름, 먼지가 코팅에 닿으면 문제가 생깁니다. 그렇게 되면 특정 부분이 과열되어 램프가 너무 빨리 망가질 수 있습니다. 그래서 우리는 장갑을 착용하고 반사판을 항상 깨끗하게 유지해야 합니다. 이는 매우 섬세한 균형을 요구합니다.
납이 없는 환경에서의 제조
납이 없는 납땜재는 더 높은 온도와 더 정확한 온도 조절이 필요합니다. 그냥 대충 온도를 조절할 수는 없습니다. 단파 적외선 덕분에 높은 온도를 빠르게達성할 수 있습니다. 게다가, 거대한 오븐에서 가스를 태우지 않으므로 탄소 배출도 없습니다. 이는 반도체 제조 공정에 훨씬 더 친환경적인 방식입니다. 이는 산업의 발전 방향에도 잘 맞습니다.