Ketika anda memproses wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan kimia, anda memerlukan haba – dan ia perlu diberikan dengan cepat. Namun, masalahnya ialah menggunakan haba di sekitar bahan pelarut yang mudah terbakar sama saja seperti bermain dengan api. Bukan secara kiasan, tetapi benar-benar berbahaya.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu inframerah khusus. Lampu ini dapat menjalankan tugasnya tanpa menjadikan kawasan kerja sebagai zon berbahaya.
Mengelakkan bahan berbahaya masuk ke dalam peranti
Lampu inframerah biasa mempunyai komponen yang terbuka. Dalam bilik yang penuh dengan wap kimia yang mudah terbakar, ini merupakan risiko yang besar. Sedikit percikan api atau komponen yang terlalu panas sudah cukup untuk menyebabkan bencana.
Untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku, kami meletakkan lampu tersebut di dalam kotak pelindung yang diperbuat daripada kuarsa atau keluli tahan karat. Ini bertindak sebagai perisai fizikal. Kami juga menggunakan gabus ketahanan tinggi dan penutup yang rapat untuk memastikan gas berbahaya tidak masuk ke dalam peranti, dan haba tidak keluar sehingga menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas. Semua ini dilakukan demi keselamatan.
Menyesuaikan suhu dengan tepat
Anda tidak boleh sekadar menggunakan haba yang tinggi pada wafer tersebut; ia akan menyebabkan wafer tersebut rosak. Kami menyesuaikan nisbah kuasa dan panjang wafer dengan teliti agar segalanya tetap stabil. Dengan menggunakan cahaya inframerah gelombang pendek, haba dapat menembusi lapisan cecair pada permukaan wafer. Ini memudahkan proses tersebut. Wafer tersebut juga tidak perlu berada dalam zon berbahaya untuk waktu yang lama.
Namun, anda tidak boleh sekadar “menetapkan suhu dan melupakan segalanya”. Anda memerlukan pengawal PID yang berfungsi dengan cepat. Jika aliran udara menurun atau sistem penghantaran terhenti, lampu tersebut perlu berhenti beroperasi dengan segera. Jika tidak, wafer tersebut akan rosak, atau kotak pelindungnya akan terbakar.
Realiti reka bentuk
Tiada apa yang sempurna. Kotak pelindung yang digunakan memang bagus untuk keselamatan, tetapi ia juga menambah beban haba pada peranti.
Apa maksudnya bagi anda? Masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer akan sedikit lebih lama berbanding menggunakan lampu biasa. Anda perlu mengambil kira masa tambahan ini dalam proses penghasilan wafer.
Satu lagi nasihat: pastikan kabel yang digunakan dilindungi dengan baik. Beberapa sumber tenaga inframerah menggunakan teknologi pensuisan frekuensi tinggi yang boleh menyebabkan gangguan pada peranti MEMS. Pastikan kabel tersebut disambungkan dengan betul agar tiada gangguan berlaku.