Hentikan pembaziran tenaga haba: Cara yang lebih baik untuk memanaskan wafer anda
Masalahnya ialah proses pemanasan wafer silikon memerlukan banyak tenaga. Namun, sebahagian besar tenaga tersebut disia-siakan dan tidak sampai ke tempat yang sepatutnya.
Lampu IR biasa mengeluarkan haba ke semua arah. Hasilnya, bahagian dalam bilik pemprosesan akan menjadi terlalu panas. Ini bukan sahaja membazir tenaga, tetapi juga menjadikan badan peralatan tersebut seperti penyejuk yang besar. Ini merupakan masalah keselamatan bagi mereka yang bekerja di situ.
Penyelesaiannya mudah: gunakan lampu IR yang berarah tertentu.
Daripada menggunakan tiub kuarsa biasa yang menyebabkan haba terbuang, kita boleh menggunakan lampu yang dilengkapi dengan reflektor khas dan lapisan khas pada permukaannya. Ia sama seperti menggunakan nozel pada hos air. Dengan cara ini, sinar inframerah dapat diarahkan secara tepat ke wafer, sehingga tenaga tersebut sampai ke titik yang sepatutnya.
Dinding bilik vakum tidak lagi berfungsi sebagai “span” yang menyerap haba berlebihan. Ini memudahkan sistem penyejukan berfungsi dengan lebih efektif. Apabila dinding tetap sejuk, tidak perlu risau tentang masalah pengembangan termal yang boleh merosakkan komponen mekanikal. Selain itu, para pekerja juga boleh menyentuh panel luaran peralatan semasa penyelenggaraan tanpa rasa panas.
Yang paling penting, profil suhu akan menjadi lebih stabil. Anda tidak perlu risau lagi tentang perbezaan suhu di bahagian tepi wafer, yang sering menyebabkan masalah semasa proses pengendapan lapisan tipis.
Namun, perlu berhati-hati.
Ini bukanlah penyelesaian ajaib. Kerana haba dikumpulkan di satu titik, densiti fluks haba pada permukaan wafer akan meningkat. Jika pengawal PID tidak ditetapkan dengan betul, ia boleh menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas, atau bahkan menyebabkan keretakan pada wafer.
Nasihat saya: Luangkan masa untuk ujian awal. Pastikan titik fokus lampu betul-betul tepat, agar tenaga hanya sampai ke tengah wafer sahaja. Dengan cara ini, segala-galanya akan berjalan lancar.