Pada peringkat awal, profil photoresist ditetapkan semasa proses pembakaran pertama. Perubahan suhu sebanyak 5°C pada permukaan wafer akan menyebabkan ketidakkonsistenan dalam proses pembakaran, merosakkan hasil pemprosesan, dan membuang masa serta sumber yang digunakan untuk proses pembaikan. Kami mencipta lampu khas untuk memastikan keseragaman suhu semasa proses pembakaran photoresist, agar ketidakpastian tersebut dapat dielakkan.
Apa yang Penting dari Segi Teknikal
Kami menggunakan lampu halogen berfrekuensi rendah yang terletak dalam rongga pemantul, yang direka untuk memastikan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C pada permukaan wafer. Sistem pengukuran suhu yang canggih membolehkan kawalan suhu yang tepat, sekaligus mengurangkan penggunaan tenaga dan meningkatkan kelajuan proses. Lampu ini juga sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100, kerana bahan yang digunakan tidak menghasilkan gas berbahaya dan tidak mempunyai zarah-zarah yang boleh merosakkan peralatan. Insulasi berbahan karbon fiber membantu menstabilkan suhu dengan cepat, sementara lapisan kuarsa pula mampu bertahan walaupun melalui siklus suhu yang berulang-ulang. Dijangkakan lampu ini boleh beroperasi selama lebih dari 5,000 jam dengan penurunan prestasi kurang dari 5%.
Mengapa Ia Berkesan
Unit ini dapat melakukan proses pengeringan wafer, pembakaran photoresist, penyimpanan produk yang telah siap diproses, serta pembersihan wafer tanpa perlu menukar alat-alat yang digunakan. Keseragaman suhu yang tinggi membantu mengurangkan masalah yang berkaitan dengan ketidakkonsistenan pada permukaan wafer, sekaligus meningkatkan hasil pemprosesan. Proses pemprosesan menjadi lebih cepat, sehingga penggunaan tenaga dapat dikurangkan. Selain itu, julat suhu yang boleh dicapai menjadi lebih luas, kerana suhu dapat dikawal dengan tepat, bukannya hanya ditebak secara kasar.
Perkara yang Perlu Diketahui
Lampu ini serasi dengan antaramuka standard, namun geometri pemantulnya harus sesuai dengan saiz wafer dan bentuk chuck yang digunakan. Proses penyesuaian awal diperlukan untuk menetapkan parameter PID dan memastikan suhu berada pada tahap yang tepat. Penggunaan suhu yang terlalu tinggi akan memendekkan jangka hayat lampu; oleh itu, disarankan untuk menggunakan suhu di bawah 650°C agar lampu dapat berfungsi dengan stabil.