Hoe voorkom je dat je gereedschappen voor het reinigen van wafer’s beschadigen?
Laten we eerlijk zijn: het plaatsen van IR-verwarminglampen in een chemisch reinigingsgebied is net alsof je met vuur speelt. Als er brandbare vloeistoffen in de buurt zijn, kan één klein vonkje of een lek in de behuizing al tot een ramp leiden.
Wij bouwen onze lampen zodat ze deze spanningen aankunnen, zodat jij ’s nachts geen zorgen hoeft te maken.
Het voorkomen van lekkages
De grootste dreiging is dat chemische dampen in de elektrische contactpunten terechtkomen. Om dit te voorkomen, ‘verzegelen’ we de lampen niet alleen, maar bedekken ze ook met meerdere lagen bescherming. We gebruiken sterke, chemisch bestendige materialen om een barrière te creëren die brandbare gassen niet kunnen doordringen.
Ondanks al deze bescherming, krijg je nog steeds genoeg warmte, omdat we speciale coatings op het kwartsglas gebruiken.
Omgaan met de hitte
Consistentie is hier cruciaal. Als er hete plekken op de wafer ontstaan, zit je in de problemen. We gebruiken precisewikkelen om de temperatuur gelijkmatig te houden.
Echter, materialen uitzetten en krimpen wanneer ze heet worden. Als de verzegeling en de kwartstube niet op dezelfde manier bewegen, zal de verzegeling breken. En wanneer de verzegeling breekt, werkt de lamp niet meer. We hebben deze uitzettingen perfect op elkaar afgestemd, zodat de lampen snel kunnen worden opgewarmd en afgekoeld zonder dat er problemen ontstaan.
De trade-off
Er is echter een nadeel: al deze bescherming maakt de lamp wat groter. De bron van warmte bevindt zich dan op een iets grotere afstand van de wafer dan bij een gewone lamp. Het is een klein verschil, maar het doet ertoe.
Je moet dan de instellingen van de PID-regeling en de stroomsterkte aanpassen om dit kleine verschil goed te maken.
Uiteindelijk hebben we deze lampen zo ontworpen dat ze bestand zijn tegen corrosieve gassen, terwijl de elektriciteit precies op de juiste plek terechtkomt. Je krijgt dus een component die perfect past in je systeem, die voldoet aan alle veiligheidsvoorschriften, en die nog steeds voldoende warmte kan leveren.