Hoe voorkom je dat je gereedschappen voor het reinigen van wafer’s beschadigen? Laten we eerlijk zijn: het plaatsen van IR-verwarminglampen in een...

Op de productielijn is het ‘bake’proces van het fotorezyst geen soort ‘opwarmingsproces’. Het is eerder een thermisch proces dat nodig is om de dikte...

Op de lithografie-afdeling is een verschil van 0,5°C in de verhittingstemperatuur al voldoende om een hele lading producten te verpesten. De...