Как предотвратить несчастные случаи с инструментами для чистки ваферов
Честно говоря, размещение инфракрасных нагревательных ламп в зоне химической очистки – это все равно что играть с огнем. Когда рядом находятся легковоспламеняющиеся растворители, даже малейшая искра или повреждение корпуса может привести к катастрофе.
Мы создаем лампы таким образом, чтобы они могли выдерживать такие нагрузки, чтобы вам не приходилось беспокоиться об этом по ночам.
Препятствование утечкам
Самая большая угроза – проникновение химических паров в электрические контакты лампы. Чтобы этого избежать, мы не просто «закрываем» лампу, а оборачиваем её многослойной защитной оболочкой. Мы используем прочные, химически стойкие материалы для создания барьера, через который легковоспламеняющиеся газы не могут проникнуть.
Благодаря специальным покрытиям на кварцевом стекле, лампа продолжает выделять необходимое количество тепла, даже при наличии такой дополнительной защиты.
Решение проблемы с теплом
Здесь важна последовательность действий. Если на вафере появляются точки повышенной температуры, возникают проблемы. Мы используем филаменты, имеющие точную структуру, чтобы поддерживать однородную температуру.
Но есть и сложности: материалы расширяются и сжимаются при нагревании. Если запечатка и кварцевая трубка не расширяются с одинаковой скоростью, запечатка повреждается. А когда запечатка повреждается, лампа перестает работать. Мы сделали так, чтобы скорости расширения были одинаковыми, чтобы лампа могла выдерживать резкие изменения температуры без повреждений.
Компромиссы
Есть один недостаток: все эти защитные элементы делают лампу более громоздкой. Источник тепла находится на некотором расстоянии от вафера, чем это было бы с обычной лампой. Это небольшая разница, но она имеет значение.
Вам потребуется немного скорректировать настройки PID и мощность, чтобы компенсировать этот небольшой недостаток.
В конце концов, мы создали лампы, которые могут выдерживать воздействие коррозийных газов, сохраняя при этом правильное распределение тепла. Это устройства, которые можно использовать в любой системе, соответствующие всем требованиям безопасности, и при этом обеспечивающие необходимую плотность тепла для вашего процесса.