ในโรงงานผลิตชิป การมีรอยน้ำหลังจากขั้นตอน CMP ก็อาจทำให้ชิปที่ผ่านการขัดเงามาแล้วเสียหายได้ การทำให้วงจรอิเล็กทรอนิกส์แห้งหลังจากขั้นตอน CMP ไม่ใช่เรื่องที่ควรมองข้ามเลย เพราะมันเป็นขั้นตอนสำคัญ
หากเครื่องทำความร้อนมีความไม่สม่ำเสมอ ก็จะส่งผลให้เกิดรอยบนพื้นผิวของวงจรอิเล็กทรอนิกส์ และข้อบกพร่องเหล่านี้ก็จะส่งผลต่อกระบวนการผลิตชิปด้วย เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนหลังจากขั้นตอน CMP โดยคำนึงถึงข้อเท็จจริงเหล่านี้ นั่นคือ ไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ขึ้นมา มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C และมีความสามารถในการทำงานซ้ำได้อย่างสม่ำเสมอ
ค่าทางเทคนิคต่างๆ จะมีประโยชน์ก็ต่อเมื่อมันสอดคล้องกับสภาพจริงของวงจรอิเล็กทรอนิกส์ เครื่องทำความร้อนของเราใช้องค์ประกอบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นในการทำความร้อน ซึ่งช่วยให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิสูง และสามารถตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว เมื่อประตูเปิด-ปิด อุณหภูมิก็จะกลับมาสม่ำเสมออย่างรวดเร็ว
การควบคุมอุณหภูมิจะเกิดขึ้นในรูปแบบวงจรปิด โดยมีเซ็นเซอร์ที่ได้รับการปรับแต่งไว้อย่างดี เพื่อให้อุณหภูมิคงที่ตลอดกระบวนการผลิต ในห้องที่มีมาตรฐาน Class 1–100 จะมีการควบคุมอย่างเข้มงวด โดยไม่มีการปล่อยก๊าซออกมา มีการปิดผนึกจุดต่อต่างๆ และมีพื้นผิวที่ไม่มีรอยแตก
ผลลัพธ์ที่ได้ก็คือ การทำความร้อนที่มีความเสถียร ซึ่งช่วยลดจำนวนอนุภาคที่เกิดขึ้น และเพิ่มอัตราการผลิตชิป
สิ่งสำคัญก็คือ การออกแบบนี้ช่วยขจัดความไม่แน่นอนที่อาจเกิดขึ้นได้ ทำให้การทำความร้อนมีความสม่ำเสมอ และลดจำนวนการผลิตซ้ำ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิสูง และมีอัตราการทำงานสูง ข้อมูลจากการใช้งานจริงของเราแสดงให้เห็นว่าเครื่องจักรสามารถทำงานได้ 24/7 โดยไม่มีการหยุดทำงานแบบไม่คาดคิด
เมื่อสามารถควบคุมอุณหภูมิได้ ก็จะช่วยให้กระบวนการผลิตมีความสม่ำเสมอมากขึ้น และค่าต่างๆ ของวัสดุที่ใช้ในการผลิตก็จะอยู่ในขอบเขตที่กำหนด
การติดตั้งนั้นง่าย แต่การปรับจูนเครื่องทำความร้อนให้อยู่ในแนวเดียวกับวงจรอิเล็กทรอนิกส์นั้นเป็นสิ่งจำเป็น หากเครื่องทำความร้อนไม่อยู่ในแนวเดียวกัน แม้ว่าจะสามารถควบคุมอุณหภูมิได้ดี แต่ก็ยังมีความไม่สม่ำเสมอเกิดขึ้นที่ขอบของวงจรอิเล็กทรอนิกส์
คาดว่าจะมีการทดสอบเครื่องทำความร้อนเพื่อปรับค่าต่างๆ ให้เหมาะสมกับห้องปฏิบัติการ หลังจากนั้นก็จะใช้วิธีการเดียวกันกับที่เราใช้มาตลอด นั่นคือ การวัด การควบคุม และการบันทึกข้อมูล