เซ็นเซอร์อินฟราเรดความแม่นยำสูงสำหรับแผ่นวีเซอร์
หยุดการสูญเสียพลังงานไปกับความร้อน: วิธีที่ดีกว่าในการให้ความร้อนแก่แผ่นซิลิคอน
ปัญหาในการให้ความร้อนแก่แผ่นซิลิคอนก็คือ คุณต้องใช้พลังงานจำนวนมาก...
เครื่องทำความร้อนสำหรับฟอโตรีซิสต์ที่มีความแม่นยำสูง
ในกระบวนการผลิตโฟโตเรซิสต์นั้น แม้ว่าอุณหภูมิในขั้นตอนการอบจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.5°C เท่านั้น ก็อาจทำให้ผลิตภัณฑ์ทั้งชุดต้องถูกทิ้งไปได้...