ในกระบวนการผลิตโฟโตเรซิสต์นั้น แม้ว่าอุณหภูมิในขั้นตอนการอบจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.5°C เท่านั้น ก็อาจทำให้ผลิตภัณฑ์ทั้งชุดต้องถูกทิ้งไปได้ เพราะโฟโตเรซิสต์บนแผ่นวัตถุดิบมีข้อจำกัดด้านอุณหภูมิที่ค่อนข้างเข้มงวด หากไม่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ ก็จะส่งผลให้ความกว้างของเส้นที่เกิดขึ้นไม่สม่ำเสมอ เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนที่มีความแม่นยำสูง เพื่อรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ ไม่ว่าจะเป็นการผลิตหลายครั้งติดต่อกัน
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เครื่องนี้ใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นในการให้ความร้อน ทำให้อุณหภูมิไม่เปลี่ยนแปลงมากนัก ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นวัตถุดิบอยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำได้นั้นอยู่ที่ ±0.05°C อัตราการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิถูกควบคุมไว้ที่ 2°C/วินาที โดยมีค่าความคลาดเคลื่อนไม่เกิน 0.2°C ซึ่งช่วยให้กระบวนการอบดำเนินไปอย่างถูกต้องตามขั้นตอนที่กำหนดไว้ นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถทำงานได้ในสภาพแวดล้อม Cleanroom Class 1–100 เนื่องจากใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีการออกแบบที่ช่วยลดปริมาณอนุภาคต่างๆ ดังนั้น กระบวนการอบจึงไม่ก่อให้เกิดข้อบกพร่องใดๆ เครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีอายุการใช้งานมากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีค่าความเปลี่ยนแปลงของกำลังไฟฟ้าน้อยกว่า 5%
ความเป็นจริง
ในกระบวนการผลิตโฟโตเรซิสต์นั้น อุณหภูมิมีผลโดยตรงต่อขนาดและความสามารถในการยึดเกาะของโฟโตเรซิสต์ เมื่ออุณหภูมิถูกควบคุมได้อย่างดี ขนาดของเส้นที่เกิดขึ้นก็จะสม่ำเสมอ ซึ่งหมายถึงการลดจำนวนการผลิตใหม่ และได้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสม่ำเสมอ นอกจากนี้ ยังช่วยให้สามารถวางแผนการผลิตได้อย่างมั่นใจ
การควบคุมอุณหภูมิที่ดีจะช่วยลดการใช้พลังงาน และการมีอนุภาคน้อยก็ช่วยให้สภาพแวดล้อมใน Cleanroom อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้ ดังนั้น คุณจึงสามารถวัดค่าความสม่ำเสมอของกระบวนการผลิตได้ ซึ่งช่วยให้สามารถวางแผนการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ข้อควรระวัง
การติดตั้งเครื่องนี้ต้องมีการเชื่อมต่อทางความร้อนที่ดี และมีพื้นผิวที่สะอาด หากการเชื่อมต่อไม่ดี ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะลดลง เครื่องนี้สามารถติดตั้งกับอุปกรณ์มาตรฐานได้ แต่ก็ยังต้องมีการตรวจสอบการทำงานร่วมกับโครงสร้างของห้องปฏิบัติการและกระแสลมด้วย
ควรมีการทดสอบการทำงานเพื่อกำหนดค่าอุณหภูมิที่เหมาะสม หากการตั้งค่าถูกต้องแล้ว เครื่องนี้ก็จะสามารถให้ความแม่นยำตามที่โรงงานต้องการได้