Giữ cho các dụng cụ làm sạch wafer không gặp sự cố
Hãy thành thật mà nói: việc đặt các bóng đèn sưởi IR vào khu vực làm sạch bằng hóa chất giống như việc chơi đùa với lửa vậy. Khi có những chất lỏng dễ cháy tồn tại trong khu vực này, chỉ cần một tia lửa nhỏ hay rò rỉ điện cũng đủ gây ra thảm họa.
Chúng tôi thiết kế các bóng đèn sao cho chúng có thể chịu được áp lực như vậy, để bạn không phải lo lắng suốt đêm.
Ngăn chặn tình trạng rò rỉ
Mối nguy hiểm lớn nhất là khí hóa học xâm nhập vào các đầu nối điện. Để ngăn chặn điều này, chúng tôi không chỉ “đóng kín” các bóng đèn mà còn bọc chúng bằng lớp vật liệu bảo vệ nhiều lớp. Chúng tôi sử dụng các chất kết dính chịu được tác động của hóa chất ở hai đầu bóng đèn, nhằm tạo ra một lớp bảo vệ ngăn không cho khí dễ cháy xâm nhập vào bên trong.
Và nhờ việc sử dụng các lớp phủ đặc biệt trên thủy tinh thạch anh, bóng đèn vẫn có thể duy trì nhiệt độ cần thiết, ngay cả khi có nhiều lớp bảo vệ bên ngoài.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Điều quan trọng nhất là duy trì nhiệt độ ổn định. Nếu có những điểm quá nóng trên wafer, bạn sẽ gặp rắc rối. Chúng tôi sử dụng các sợi dây tóc được cuốn một cách chính xác để đảm bảo nhiệt độ ổn định.
Nhưng có một vấn đề khó khăn: các vật liệu sẽ giãn nở hoặc co lại khi bị nung nóng. Nếu lớp bảo vệ và ống thủy tinh thạch anh không giãn nở cùng một tốc độ, lớp bảo vệ sẽ bị nứt. Và khi lớp bảo vệ bị nứt, bóng đèn sẽ không thể hoạt động được nữa. Chúng tôi đã điều chỉnh tốc độ giãn nở của các vật liệu sao cho bóng đèn có thể chịu được những chu kỳ nóng lên và nguội xuống nhanh chóng mà không bị hỏng.
Nhược điểm
Tuy nhiên, việc thêm các lớp bảo vệ như vậy khiến bóng đèn trở nên to hơn một chút. Bạn sẽ nhận thấy rằng nguồn nhiệt cách xa wafer hơn so với khi chỉ sử dụng bóng đèn thông thường. Đó là khoảng cách nhỏ thôi, nhưng lại rất quan trọng.
Bạn chỉ cần điều chỉnh các thiết lập PID và công suất để bù đắp cho sự giảm độ nóng này.
Cuối cùng, chúng tôi thiết kế các bóng đèn này sao cho chúng có thể chịu được tác động của các khí ăn mòn, đồng thời duy trì nhiệt độ cần thiết. Bạn sẽ có một bộ phận hoàn hảo, đáp ứng mọi tiêu chuẩn an toàn, đồng thời vẫn có thể cung cấp đủ nhiệt độ cần thiết cho quy trình sản xuất của bạn.