红外线与对流用于晶圆干燥的比较

在晶圆厂车间，哪怕残留一微米的水分，也可能导致良率严重下降。对先进制程节点来说，对热预算和颗粒控制的要求极高，常规对流炉根本无法满足。在这里，误差空间已经不存在。 隐藏细节的重要性 红外干燥通过辐射传热将热量直接传递至水膜，而不是加热整个腔体空气。这使得设定点升温时间小于1分钟，晶圆上的温度均匀性...