在光刻过程中，晶圆上的温度变化只要1摄氏度，就可能导致线宽出现纳米级的差异；而微粒的存在则可能毁掉大量产品。因此，人们设计了分区式红外加热模块，以将温度控制在理想的范围内。 从技术层面来看，重要的是什么？ 短波红外发射器被安排在多个独立控制的区域中，这样就可以根据晶圆的不同部位来调整温度。在整个加...

在光刻车间，光刻胶软烘烤的半度漂移足以使关键尺寸（CD）控制超出规格。晶圆堆积，废品增加，生产线因热不一致而受到损失。我们构建的光刻胶干燥红外模块旨在消除晶圆干燥、软烘烤和硬烘烤过程中的不确定性。 底层重要因素 我们使用石英卤素发射器运行短波红外线，将能量直接传递到光刻胶层。该模块在烘烤面上保持晶...