高能效晶圆加热器

防止碎片飞溅：让晶圆保持清洁，避免因灯管故障造成损害 说实话，当高负荷生产过程中灯管损坏时，那简直就是一场灾难。这不仅仅是更换一个部件那么简单，反而会引发一系列麻烦。 当石英管破裂时，玻璃碎片和化学物质会掉落在晶圆上，从而导致整批产品报废。接下来就是繁琐的清理工作——需要花费数小时来恢复生产环境。...