FOUP 前开式统一盒 干燥机

在光刻车间，热误差几乎不给你任何缓冲空间。一个在某个角落吸湿或发热、另一个角落偏冷的FOUP，会使光刻胶超出其热预算。你在涂胶机上看不到这些问题——它们会在后续表现为线宽偏差和结皮。我们设计了FOUP烘干机，目的是消除这种变异性，确保工艺窗口保持在需要的位置：晶圆上。 关键技术要点 该装置能在整个...