高精度温度光刻胶加热器

在光刻过程中，如果烘烤温度出现0.5℃的偏差，就足以导致整批产品报废。这些晶圆上的光阻对温度极为敏感，一旦温度控制不当，就会影响线宽的精确度。我们设计了高精度的温度控制加热器，以此来确保温度始终保持在理想范围内，无论是在不同的生产批次中还是不同的循环中。 关键所在 该加热器采用短波红外技术并结合直...