高纯度石英加热元件
高纯度石英卤素加热元件:在您需要时,立即提供所需的热量
我们设计这些石英卤素加热元件,是为那些对温度控制要求极高的场合而准备的。在这些场合中,设备的持续运行至关重要,温度也必须保持稳定。可以说,它们是一种可按需产生的红外热量源——同时,我们还提供24个月的质量保障服务,技术团队也会在24小时内为您...
分区红外加热模块
在光刻过程中,晶圆上的温度变化只要1摄氏度,就可能导致线宽出现纳米级的差异;而微粒的存在则可能毁掉大量产品。因此,人们设计了分区式红外加热模块,以将温度控制在理想的范围内。
从技术层面来看,重要的是什么? 短波红外发射器被安排在多个独立控制的区域中,这样就可以根据晶圆的不同部位来调整温度。在整个加...